适用于传统封装与Sputter工艺,应用于12寸及以下的晶圆铁圈或者方形Frame的贴膜设备
♦支持UV膜或蓝膜或者带离型膜的卷膜入料
♦兼容铁圈Frame的Magazine或Cassette的入料方式
♦轨道宽度可调,扩展性强
♦自动胶膜贴合程序
♦可依据需求调整胶膜张力
♦贴膜完成后可自动进行裁切,前后刀架位置可调
♦贴膜后支持翻转180度
项目 | 规格描述 |
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UPH | >90pcs |
贴合精度 | ±0.2mm |
抓铁圈方式 | 真空负压吸取 |
支持铁圈尺寸 | ******12寸或者240x215mm方形铁圈 |
换膜时间 | 15-20mins |
支持贴膜后翻转角度 | 180° |